X射線熒光光譜儀主要由以下幾個部分構(gòu)成：
激發(fā)源：通常為X射線管，是X射線熒光光譜儀的重要組件。燈絲和靶極密封在抽成真空的金屬罩內(nèi)，燈絲發(fā)射的電子經(jīng)高壓電場加速撞擊在靶極上，產(chǎn)生一次X射線，用于激發(fā)樣品中的元素。
樣品室：用于放置樣品，部分儀器的樣品室支持真空或氦氣環(huán)境，以優(yōu)化分析條件。樣品臺通常具有多個軸向調(diào)節(jié)功能，可以調(diào)整樣品的位置和角度，以提高檢測精度。
分光系統(tǒng)：波長色散型X射線熒光光譜儀的分光系統(tǒng)主要部件是晶體分光器，其作用是通過晶體衍射現(xiàn)象把不同波長的X射線分開。分光晶體靠一個晶體旋轉(zhuǎn)機構(gòu)帶動，為了檢測到特定波長的熒光X射線，分光晶體轉(zhuǎn)動θ角，檢測器必須轉(zhuǎn)動2θ角。能量色散型X射線熒光光譜儀則沒有復雜的分光系統(tǒng)，依靠半導體探測器直接測量熒光X射線的能量。
檢測記錄系統(tǒng)：常用的檢測器有流氣正比計數(shù)器、閃爍計數(shù)器和半導體探測器等。流氣正比計數(shù)器適用于輕元素的檢測，閃爍計數(shù)器適用于重元素的檢測，半導體探測器主要用于能量色散型X射線的檢測。檢測器將X射線光子能量轉(zhuǎn)化為電能，產(chǎn)生脈沖信號，經(jīng)放大器、脈沖幅度分析器等處理后，由記錄顯示儀器記錄下來，得到熒光X射線譜圖。
數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)：通常由計算機和分析軟件組成，對檢測到的光譜數(shù)據(jù)進行處理，通過特定的算法和模型，將光譜信息轉(zhuǎn)化為樣品中各種元素的種類及含量，生成定性和定量分析結(jié)果。
更新時間：2025-09-17
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